公司掩膜版制造工岗位职业健康操作规程.docxVIP

PAGE

PAGE1

公司掩膜版制造工岗位职业健康操作规程

文件名称：公司掩膜版制造工岗位职业健康操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司掩膜版制造工岗位，旨在确保员工在操作过程中的人身安全和健康。规程规定了制造工在作业过程中必须遵守的基本要求，包括设备操作、环境管理、个人防护等方面，以预防事故和职业病的发生。所有从事掩膜版制造工作的员工必须严格遵守本规程。

二、操作前的准备

1.防护用品穿戴规范：

-进入操作区域前，必须穿戴公司规定的防护服、防护手套、防护眼镜和防尘口罩。

-镜片应清晰，避免佩戴隐形眼镜，以防化学品溅入眼睛。

-防护服应完好无损，确保无破损部分暴露皮肤。

2.设备状态检查要点：

-检查设备是否处于正常工作状态，包括电源、冷却系统、通风系统等。

-检查设备各部件是否牢固，有无异常磨损或损坏。

-确认设备操作面板上的所有指示灯和报警系统功能正常。

3.作业环境基本要求：

-确保操作区域通风良好，无有害气体积聚。

-定期检查地面清洁度，防止滑倒事故。

-操作区域温度和湿度应控制在适宜范围内，避免对设备性能和产品质量的影响。

-定期对操作区域进行消毒，减少细菌和病毒传播风险。

-确保紧急出口和消防设施清晰可见且易于使用。

在进行任何操作前，必须完成以上准备工作，并确保所有安全措施得到妥善执行。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作流程步骤：

-首先启动设备前，确认设备周围无人员，并熟悉操作面板和按钮功能。

-按照设备操作手册进行设备预热，确保设备达到工作温度。

-检查设备运行参数是否正确设置，如温度、压力、速度等。

-启动设备，观察设备运行状态，确保一切正常。

-进行实际操作，严格控制操作时间，避免超时。

-操作结束后，关闭设备，等待设备冷却至室温。

2.特定操作的技术规范：

-在进行光刻操作时，必须按照规定的曝光剂量和时间进行，确保掩膜版图案的正确性。

-在清洗掩膜版时，使用无尘室内的清洁剂和软布，避免划伤表面。

-在贴膜操作中，确保膜与掩膜版对齐准确，避免气泡和皱褶。

3.异常情况处理程序：

-如发现设备异常，立即停止操作，断开电源。

-根据设备操作手册或应急程序，进行初步检查和判断。

-如无法自行处理，立即上报主管，并通知维修人员。

-在异常处理期间，确保现场安全，必要时撤离无关人员。

-待问题解决后，重新检查设备状态，确保安全后再进行操作。

四、操作过程中机器设备的状态

1.设备运行正常状态指标：

-设备噪音在正常范围内，无异常振动或噪音。

-机器运行平稳，无卡顿现象，各运动部件协调一致。

-显示屏显示正常，无错误代码或警告信息。

-传感器工作正常，数据读数准确无误。

-系统温度在设定的工作温度范围内，冷却系统运转良好。

2.常见故障现象：

-设备运行不稳定，出现卡顿、跳步等问题。

-显示屏出现故障，无法正常显示或操作。

-传感器数据异常，导致设备无法正常工作。

-冷却系统故障，设备温度过高。

-机械部件磨损或损坏，导致运行异常。

3.状态监控方法：

-通过设备自带的监控系统实时监控设备运行状态。

-定期检查设备各个部件，包括电机、传感器、冷却系统等。

-定时记录设备运行数据，如温度、压力、速度等。

-进行预防性维护，根据维护计划定期更换或检查易损件。

-在操作过程中，密切关注设备的声音、振动和温度变化，及时发现潜在问题。

五、操作过程中的测试和调整

1.设备运行测试要点：

-定期检查设备运行数据，如曝光时间、温度、压力等，确保在设定范围内。

-监测设备运行的声音和振动，及时发现异常。

-定期进行设备功能测试，包括光刻精度、清洗效果等。

-检查设备对位精度，确保图案准确无误。

2.调整方法：

-根据测试结果，对设备参数进行微调，如曝光剂量、温度设定等。

-调整设备对位系统，确保掩膜版与晶圆的对位精度。

-校准传感器，确保数据读数的准确性。

-更换或清洁磨损或脏污的部件，如光罩、喷嘴等。

3.不同工况下的处理方案：

-在高负荷运行时，注意设备冷却系统的状态，防止过热。

-在低负荷运行时，适当调整设备参数，避免能源浪费。

-遇到设备故障，应立即停止操作，按照故障排除程序进行诊断和修复。

-在不同环境条件下（如温度、湿度变化），调整设备以适应环境变化，确保最佳性能。

-定期进行环境适应性测试，确保设备在不同环境下均能稳定运行。

六、操作人员所处的位置和操作时的规范姿势

1.作业姿态：

-操作者应保持正确的坐姿，背部挺直，双脚平放地面，膝