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GE通用电气电子 半导体水处理技术TOC用户手册.pdf

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    GE通用电气电子半导体水处理技术TOC用户手册用户手册产品说明书使用说明文档安装使用手册

    TOC在电子/半导体、

    电力行业的应用

    微电子及半导体工业

    •最低TOC含量的纯水

    •TOC通常4－10ppb

    2

    微电子及半导体工业SEMI纯水准则（1989）

    ASTM电子级别水TOC规定

    E-1

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