Zeiss 蔡司 Scanning Electron Microscope FESEM 用户手册.pdf

蔡司FESEM操作指引

1．开机：场发射扫描电镜正常情况下保持开机状态（绿灯ON常亮）

2、从放入样品并抽真空：

①SEMControlVacuum面板里，点击Vent放真空，并切换到CCD模式（Vent前确保EHTOff）；

②等几分钟后，舱门可以打开。将样品台卡在基座上的燕尾槽中，确认样品台卡紧；

③缓慢关上舱门，CCD模式下观察样品台进出，以防止过大的样品撞到物镜或探测器；

④在SEMControl→Vacuum面板里，点击Pump开始抽真空（刚开始抽真空时手推紧舱门）。

3、加高压：

①在CCD模式下，通过摇杆将样品台移到合适的工作距离；

②在SEMControl面板中，检查加速电压EHT和光阑Aperture的大小；

③待状态栏中Vac显示绿色√；点击右下方状态栏EHT图标后选择EHTOn；

4、调整图像：

①CCD模式下，在StageNavi选项卡Topview导航示意图中双击编号，对应的样品台将移动至极靴下方；

②在Toolbar中，点击SCAN，通常先使用SE2探头观察和找到感兴趣的区域；

③调节Mag旋钮和Focus旋钮，低倍聚焦，使能看到样品的图像，然后找到特征点逐步放大到1-2万倍；

④选择使用InLens探头或SE2探头。在Reduce小窗口中调节Focus和StigmatorXY至图像最清晰；

⑤如果发现在调焦过程中图像偏移严重，需要调节光阑对中wobble；

⑥缩小放大倍数，找到感兴趣的区域和适合的放大倍数，同时将图像调整至最清晰；

5、记录保存图片

①在Toolbar中，点击进行拍图；

②右键选择Sendto（或Ctrl+E），保存为TIFF格式图片，并选择文件夹和键入文件名；

③在Toolbar中，点击，然后继续选区拍图，此时可点击Toolbar中SAVE图标自动编号并保存图像；

6、关闭高压，卸真空，取出样品。

①点击右下方状态栏EHT图标后选择EHTOff，并等待高压完全关闭；

②在SEMControlVacuum面板里点击Vent泄真空，打开舱门取出样品

③点击Pump，使仪器保持在高真空状态。（离开前一定要注意保持Pump状态！）

7、安全注意事项

1）在移动、升降和倾斜载物台时，一定要在CCD模式下进行，以免碰撞到物镜和探测器；

2）换样过程中要戴上手套进行操作，切不可用手直接接触载物台和样品；

3）不要在扫描电镜专用的电脑上私自安装其他软件，以防电脑系统崩溃；

4）在使用完成后，可以在SEMControlStage里面勾上JoystickDisable，防止误碰摇杆而撞坏物镜和探测器。