半导体设备行业深度报告：新工艺新结构拓宽空间，国产厂商多维发展突破海外垄断.pptxVIP

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2025-10-16 发布于北京
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半导体设备行业深度报告：新工艺新结构拓宽空间，国产厂商多维发展突破海外垄断.pptx

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报告摘要美国升级出口限制凸显国产化重要性，国产厂商多维发展突破海外垄断。2024年12月，美国BIS修订了《出口管理条例》，对高深宽比结构、新金属材料等尖端应用所需的薄膜沉积设备实施新的管控。根据SEMI和中国电子专用设备工业协会数据，2023年国内薄膜沉积设备市场规模约479亿元，国产化率低于25?。目前国内薄膜沉积设备厂商主要包括北方华创、拓荆科技、微导纳米、中微公司、盛美上海和晶盛机电等，各厂商发展侧重点不同，共同助力薄膜沉积设备国产化崛起。???新工艺新结构拓宽薄膜沉积设备空间，ALD在先进节点及3D结构中应用广泛。薄膜沉积可分为PVD、CVD和ALD三大类。PVD主要用于金属材