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摘要
摘要
精密位移测量技术及传感部件，作为精密定位与运动控制的“眼睛”，直接决定装
备的精度。光栅干涉测量技术，因其物理栅尺稳定、干涉光程短，对环境扰动不敏感，
成为当前最受关注的大量程纳米测量技术之一。本文提出以涡旋光为载体的光栅干涉位
移测量新方法，围绕涡旋光干涉位移测量模型、涡旋光干涉传感光路设计、涡旋光干涉
信息解析等方面开展研究，主要研究工作和结果如下:
（1）研究了涡旋光与光栅相互作用过程的衍射、干涉效
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