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WaferleveltestsolutionsforIRsensors
SebastianGiessmann,CascadeMicrotechGmbH,SüssStraße1,01561Thiendorf,Germany
Frank-MichaelWerner,CascadeMicrotechGmbH,SüssStraße1,01561Thiendorf,Germany
WaferprobersprovideanestablishedtformforperformingelectricalmeasurementsatwaferlevelforCMOSandsimilar
processtechnologies.FortestingIRsensors,therequirementsarebeyondthestandardprobercapabilities.This
presentationwillgiveanoverviewaboutstateoftheartIRsensorprobingsystemsreachingfromflexibleengineering
solutionstoautomatedproductionneeds.
Cooledsensorstypicallyneedtobetestedatatargettemperaturebelow80K.Notonlyisthedevicetemperatureimportant
butalsothesurroundingenvironmentisrequiredtopreventbackgroundradiationfromreachingthedeviceundertest.To
achievethat,acryogenicshieldisprotectingthemovablechuck.Byoperatingthatshieldtoattractresidualgasesinside
thechamber,acompletelycontamination-freetestenvironmentcanbeguaranteed.Theuseofspecialblackcoatingsare
furthermoresupportingtheremovalofstraylight.Typically,probecardneedareoperatingatambient(room)
temperaturewhenconnectingtothewafer.Toavoidtheentranceofheat,whichcanresultindistortedmeasurements,the
probecardisfullyembeddedintothecryogenicshield.Ashuttersystem,locatedabovetheprobefield,isdesignedto
switchweenthemicroscopeviewtoalignthesensorundertheneedandthetestrelevantsetup.Thi
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