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高压1000V浮动V/I源的设计及对浮动V/I源的研究

摘要

随着半导体产业在全国的广泛发展，半导体自动化测试技术也越来越受关注。然而半导体自动化测试的好坏完全取决于所采用的自动化测试机（ATE）的性能。目前在半导体行业ATE主要还是以日美的设备为主，不过在模拟测试领域国内测试机厂商也得到了很好的发展，如华峰测控等。模拟测试机的核心部分就是它的模拟V/I源。V/I源的质量好坏决定了产品的测试品质，但是人为因素也对产品的测试影响很大。如果工程师对测试机的V/I源的设计原理不是很清楚，胡乱应用那么就会导致测试质量的下降，甚至会损害测试机。尤其对于工厂里的工程师来说了解及深入掌握测试机V/I源的的机理更为重要。本文将以模拟高压浮动源的设计来进行对浮动V/I源的研究。

在模拟集成电路测试机中高压源的设计与分立器件测试机中的高压源设计有所不同，对于集成电路测试中的高压源的要求相对要高，因为分立器件简单不易受干扰，而集成电路内部结构复杂易受干扰。通常在集成电路高压测试中用的高压V/I源基本上是浮动源，这样可使高压和低压不在同一个电气回路中，避免意外复杂情况的发生，减少干扰，提高测试精度。

以高压模拟V/I源为例做设计研究，搞清楚其中的原理对于工厂工程师掌握模拟V/I测试源来说是非常有意义和有必要的。

关键词：半导体；自动化测试机；集成电路；浮动源

Abstract

WiththefurtherdevelopmentofsemiconductorindustryinChina,semiconductorATEtestingtechnologyisgotmoreandmoreattention.ThequalityofsemiconductorautotestingisdeterminedbytheperformanceofATEmachine.CurrentlyJapanandAmericatestingmachinesaremajorinChina,howeverdomesticmachinesaregotimprovementverywellinanalogtestingfieldintheseyears,suchasACCOTEST.ThecorepartoftheanalogATEmachineisV/Isource.ThequalityofproducttestingisaffectedbythequalityofV/Isourcedirectly,buthumanfactorsalsoaffectthequalityoftestinggreatly.Ifengineersdon’tunderstandandapplythetheoryoftheV/Isourcewell,itcanleadtolowqualityoftesting,evenitcandamagetestingmachine.ItisveryimportantforfactorytestingengineerstounderstandandmasterthetheoryoftheV/Isourcedeeply.HerewewilldoaresearchofthehighvoltageV/Ifloatingsource..

ThedesignofhighvoltageV/IsourceinICtestingisdifferentwithindiscretecomponenttesting,therequirementofdesigninICtestingishigherthanindiscretecomponenttesting,becausediscretecomponentsaresimple,it’snoteasytobeinterfered,howevertheinnerstructureofICcomponentsisverycomplicated,it’seasytobeinterfered.UsuallyengineersuseanindependentfloatingV/Isourcewhilehigh