微尺度下光热膨胀机制剖析与光热微驱动创新方法探究.docx

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2025-09-22 发布于上海
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微尺度下光热膨胀机制剖析与光热微驱动创新方法探究

一、引言

1.1研究背景与意义

微纳米技术是上世纪80年代兴起并迅猛发展的新兴技术，它融合了材料科学、微电子、光学、化学等多学科的知识与技术，推动着各个领域向微小化、精密化方向迈进。在纳米研究中，对高精度的方法和辅助设备的需求日益迫切，微驱动技术作为纳米技术的基石之一，其输出精度的高低直接制约着纳米计量、加工、刻蚀等关键技术的发展进程。随着科技的飞速发展，人们对微纳米驱动技术展开了大量深入研究，研制出了众多不同类型的微驱动器，以满足日益增长的微小化、智能化需求。

微机电系统（MEMS）是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉前沿领域，它