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基于Petri网的多组合设备建模与调度优化研究.docx

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    基于Petri网的多组合设备建模与调度优化研究

    一、引言

    1.1研究背景与意义

    1.1.1多组合设备的应用现状

    在现代工业领域，多组合设备的身影无处不在，它们凭借独特的优势，成为推动各行业发展的关键力量。在半导体制造产业中，多组合设备占据着举足轻重的地位。半导体制造工艺复杂且精细，从晶圆制造到芯片封装测试，每一个环节都对设备的精度、稳定性和协同工作能力提出了极高要求。例如，在晶圆制造阶段，化学气相沉积（CVD）设备、光刻设备和刻蚀设备等常常组合使用。CVD设备负责在晶圆表面沉积各种薄膜，为后续的光刻和刻蚀工艺奠定基础；光刻设备则通过将设计好的电路图案精确地转移到晶圆上，确定芯片的电路布局

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