微电子工艺实验教程：BJT成套工艺分析与应用PPT教学课件.pptx

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2025-09-05 发布于浙江
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微电子工艺实验第十一章BJT成套工艺分析与应用

1.进一步熟悉集成电路制造原理和双极型晶体管（BJT）的工艺流程；2.使用多功能实验基础平台和实验用半导体参数分析仪，完成NPN型BJT和PNP型BJT制作的成套工艺。

BJT工作机理工作机理同时涉及电子和空穴两种载流子的流动，因此它被称为双极性的，所以也称双极性载流子晶体管。双极性晶体管由三部分掺杂程度不同的半导体制成，晶体管中的电荷流动主要是由于载流子在PN结处的扩散作用和漂移运动。以NPN晶体管为例，按照设计，高掺杂的发射极区域的电子，通过扩散作用运动到基极。在基极区域，空穴为多数载流子，电子是少数载流子。由于基极区域很薄，这些电子又