微电子工艺实验教程：JEFET和MESFET成套工艺分析与应用PPT教学课件.pptx

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2025-09-05 发布于浙江
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微电子工艺实验第十章JFET和MESFET成套工艺分析与应用

1.进一步熟悉集成电路制造原理和双极型晶体管（BJT）的工艺流程；2.使用多功能实验基础平台和实验用半导体参数分析仪，完成NPN型BJT和PNP型BJT制作的成套工艺。实验原理实验内容实验目的实验结果分析思考题和拓展实验

JFET和MESFET场效应晶体管是一种利用电场效应来控制电流的半导体器件。常见的场效应晶体管有结型场效应晶体管（JFET）、金属-半导体场效应晶体管（MESFET）和金属-氧化物-半导体效应晶体管（MOSFET）。其中，JFET和MESFET的器件工艺结构原理十分相似，主要区别为：JFET的栅控原理是通过构