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薄膜材料与技术考试题及答案
一、单项选择题（每题2分，共10题）
1.以下哪种方法不属于物理气相沉积？（）
A.蒸发镀膜B.化学气相沉积C.溅射镀膜D.离子镀
2.薄膜的附着力与下列哪种因素关系不大？（）
A.薄膜与基底的化学结合B.薄膜的厚度C.薄膜与基底的表面粗糙度D.薄膜与基底的晶格匹配度
3.溅射镀膜中，靶材的溅射率与（）有关。
A.靶材原子量B.入射离子能量C.气体压强D.以上都是
4.在化学气相沉积中，反应气体的（）对薄膜生长影响较大。
A.浓度B.温度C.流量D.
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