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基于LabVIEW与输入整形算法的气悬浮平台抑振技术深度剖析与实践
一、绪论
1.1研究背景与意义
在现代工业生产和科学研究中,高精度的运动控制平台是实现各类精密操作的关键设备。气悬浮平台作为一种利用气体静压或动压原理,使运动部件与支撑表面之间形成一层气膜,从而实现无接触悬浮运动的精密设备,凭借其无摩擦、高精度、高速度、长寿命等显著优势,在半导体制造、光学检测、航空航天等众多领域得到了广泛应用。
在半导体制造过程中,芯片制造对光刻设备的精度要求极高,气悬浮平台能够为光刻设备提供稳定、高精度的运动控制,确保芯片图案的精确转移,从而提高芯片的性能和生产效率。在光学检测领域,气悬浮平台可用于承载
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