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10万级干净区环境监测规定
监测项目
技术规定
监测措施
监测频次
温度
18～28OＣ（十万级、三十万级）
ＪＧJ71-9０
１次／班
湿度
45~６５％(十万级、三十万级)
JGＪ71-90
1次/班
换气次数
十万级≥1５次／小时
JＧJ７１-90
1次/月
静压差
≥5Pa（不同干净级别干净室(区）之间）
JGJ７1-90
１次/月
≥10Pa(干净室(区）与室外）
≥５Pa（干净室（区)之间与非干净室（区))
尘埃粒子
≥0.5μm
≥5μｍ
ＧB/T1６2９２-1９9６
1次/季
十万级≤3500000个／m３
≤0个/m3
浮游菌
十万级≤500个/ｍ3
GB/T1６２93-１99６
1次/季
沉降菌
十万级≤10个/皿
GB/T1６２94-1996
１次/周
100级和100０0级干净区环境监测规定
监测项目
监测仪器
技术规定
测量位置
监测频次
1０0级
10000级
温度(℃)
温湿度计
18-28
１８－２8
干净区各室
1次/班
湿度(％）
温湿度计
45-６5
45-65
干净区各室
１次/班
风速(m/ｓ)
风速仪
水平层流≥0４
——
送风口
１次／月
垂直层流≥0.3
换气次数(次／h）
——
≥２0
静压差(Pa)
微压差计
≥5
≥5
不同干净区之间
11次/月
≥１0
≥10
干净区与室外
尘埃粒子数
(个/M３)
尘埃粒子
计数器
≥０.5um
≤3５００
≥０．5um
≤35000
干净区内核心操作点及１0０级超净工作台
1次／季
≥５um
０
≥5um
≤
沉降菌落数(个/皿)
培养皿
≤1
≤3
干净区内核心操作点
1次/周
浮游菌落数(个/?)
浮游菌采集器
≤５
≤10０
干净区内核心操作点及1０0级超净工作台
1次/季
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