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半导体设备国产化技术路径与产业链协同发展模式及产业布局优化.docx

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    半导体设备国产化技术路径与产业链协同发展模式及产业布局优化

    一、半导体设备国产化技术路径与产业链协同发展模式及产业布局优化

    1.1技术路径创新

    1.2产业链协同发展模式

    1.3产业布局优化

    二、半导体设备国产化关键技术创新

    2.1核心器件研发与创新

    2.2高端装备研发与突破

    2.3自主控制系统研发

    2.4关键材料研发与突破

    2.5人才培养与引进

    三、产业链协同发展模式与产业生态构建

    3.1产业链上下游企业合作

    3.2产业协同创新平台建设

    3.3产业链金融支持

    3.4人才培养与引进

    3.5国际合作与交流

    四、产业布局优化与区域发展战略

    4.1产业集聚区建设

    4.2区

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