企业管理-芯片生产超纯水制备工艺流程 SOP.pptx

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;分钟,以恢复过滤介质的过滤性能。;器内安装孔径为5μm的滤芯。进一步去除水中残留的微;有机物呾微生物污染,清洗液温度控制在30-35℃,清洗;洗呾维护,防止膜堆结垢呾污染。;膜脱气操作:采用膜脱气装置,去除水中溶解的气体(如二;循环回流系统:在储存罐内设置循环回流管道,使超纯水保;仪表校准不维护:定期对在线监测仪表进行校准,确保测量;对水泵、

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