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椭偏仪测量薄膜厚度和折射率

:潇学号:P组内编号9

实验目的

1.了解椭偏仪测量薄膜参数的原理.

2.初步掌握反射型椭偏仪的使用方法.

使用仪器

椭偏仪平台及配件、He-Ne激光器及电源、起偏器、检偏器、四分之一

波片等.

实验原理(见预习报告).

实验内容以及数据分析:

仪器的调节:

一、光路调节：

1、调节载物台水平；

视线与载物台表面重合,旋物台,目测是否水平,如果不水平的话,用载

物台下的3个螺母调节水平.

oo

2、游标盘0对齐度盘0；

3、调节二光管共轴:

光路穿过3个小孔即可.

二、起偏器和检偏器的定位

1、检偏器定位：

o

（1）将检偏器套在望远镜筒上，偏振片读数头朝上，起始读数为90；

o

（2）将望远镜筒转66，在载物台上放置黑色反光镜，此时光线以布儒斯特角

入射黑色反光镜；

o

（3）转动检偏器（保持读数头90位置不变），使反射光线最暗。锁紧检偏器的

固定螺丝；

（4）望远镜筒转回原位，移走黑色反光镜。

2、起偏器定位：

o

（1）将起偏器套在平行光管上，起偏器读数头朝上，上下起始读数均为0；

（2）转动起偏器，使检偏器出射光最暗，锁紧起偏器的固定螺丝；

3、1波片的调整

4

1o，微调波片（固定刻度盘），

（1）将波片套在起偏器上，快轴对准起偏器的0

4

使检偏器出射光最暗。

三、测量薄膜样品：

1、将薄膜样品放置在载物台；

oo

2、望远镜筒转过40（此时光线以70角入射薄膜表面）；

1ooo

3、波片置+45仔细调整起、检偏器角度同时90（同时90），使检偏器出

4

射光强最弱，分别读出检、起偏器偏转角度A、P（A、P）；

1122

1o

4、波片置-45，重复上述操作测出A、P、A、P

43344

测量结果如下：

i1234

Ai(检偏角)