企业管理- SRAM(静态随机存取存储器)生产工艺流程.pdf

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企业管理-SRAM(静态随机存取存储器)生产工艺流程

SRAM(静态随机存取存储器)是一种利用双稳态电路存储

数据的半导体存储器,具有高速读写、无需刷新等特点。以

下是SRAM的典型生产工艺流程,涵盖从晶圆制备到封装测

试的主要环节:

一、晶圆制备

1.硅片清洗

去除硅片表面的污染物(如颗粒、有机物、金属离子等),

通常使用化学清洗液(如SC1、SC2溶液)和去离子水。

2.氧化层生长

通过热氧化工艺在硅片表面生长一层薄氧化层(如

SiO₂),作为后续工艺的绝缘层或掩膜层。

二、前端

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