应变式压力变送器刘慧敏13课件.pptx

主讲教师：刘慧敏应变式压力变送器

知识目标应变效应应变片工作原理及类型

应变：在压力作用下元件产生的相对变形。应变效应：导体产生机械变形时，电阻发生变化的现象。应变仪应变效应

金属应变片(金属丝或金属箔)和半导体应变片两类。应变片

（1）丝式应变片：由称为敏感栅、绝缘基底、引线、保护膜等组成。（2）箔式应变片：用金属箔经光刻、腐蚀制成。应变片金属应变片

体型半导体应变片：将半导体材料切割成小片，压焊引线后制成。薄膜型半导体应变片：利用真空蒸镀技术将半导体材料沉积在基片上制成。扩散型半导体应变片：将P型杂质扩散到不导电的N型单晶硅基片上，形成一层导电的P型扩散硅扩散电阻。应变片半导体应变片(a)体型半导体应变片（b）薄膜型半导体应变片(c)扩散硅半导体应变片

当被测压力P作用于传感筒密封膜片时，传感筒受压变形，使应变片产生应变，应变片r1被压缩，阻值减小，应变片r2被拉长，阻值增加。被测压力应变片阻值的变化再通过电路进行转换成电信号输出。工作原理及类型应变片压力传感器示意图

应变式压力变送器大致可分为应变筒式、膜片式、应变梁式和组合式4种。没有可动部分，有时也称为固态传感器。应变式压力变送器测量精度较高，测量范围可达几百兆帕。一般用于测量较大的压力。工作原理及类型

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