微射流激光先进设备技术要求-征求意见稿.pdf

T/TMACXXXX—2025

微射流激光先进设备技术要求

1范围

本文件规定了微射流激光先进设备的一般要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运

输与贮存。

本文件适用于微射流激光加工应用的设备，（以下简称“设备”）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划

GB8978污水综合排放标准

GB/T10320激光设备和设施的电气安全

GB/T26599.1激光和激光相关设备激光光束宽度、发散角和光束传输比的试验方法第1部分：无

像散和简单像散光束

GB/T32831高能激光光束质量评价与测试方法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

微射流激光microjetlaser

利用微流体技术与激光技术相结合，产生微小、高速、精确的激光束，用于材料加工、生物医学等

领域的设备。

3.2

激光功率laserpower

激光设备在运行时输出的激光束功率，通常以瓦特（W）为单位。

3.3

激光波长laserwavelength

激光输出光束的波长，通常用于确定其与材料的相互作用效果。

4分类

按激光光源分为以下几类：紫外、红外、绿光、蓝光、复合光。其中常用光源为绿光。

5一般要求

5.1微射流

5.1.1水流雷诺数

1

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微射流系统应保持稳定的层流状态，以确保激光束在射流中全反射传输的稳定性。根据流体力学原

理，圆管内水流的层流临界雷诺数（Re）通常为2000，因此设备运行时水流雷诺数应控制在1000≤Re

≤1800范围内。

5.1.2水质、

水质应符合以下要求：悬浮物含量不应大于10mg/L，颗粒物直径不应大于1μm。

5.1.3流量

根据设备加工需求，水流流量应可调节，宜为5L/min～20L/min，具体应与喷嘴直径匹配。

5.1.4水压

水压应控制在0.5MPa～2.0MPa。过高水压可能导致射流断裂，过低则影响激光束约束效果。

5.1.5水纯净度

为防止水中离子或微生物附着污染光学元件，水纯净度应达到电子级水标准，即电阻率不小于10M

Ω·cm（25℃），总有机碳（TOC）不应大于50μg/L，微生物含量不应大于10CFU/mL。

5.1.6电导率

为避免因水导电引发电气安全隐患，同时防止离子对激光束传输的干扰，水的电导率不应大于5μ

S/cm（25℃）

5.2辅助气体

5.2.1气压

氮气、氧气等辅助气体的气压应与射流速度及加工需求匹配，宜为0.3MPa～0.8MPa。

5.2.2流量

辅助气体流量应与气压协同调节，确保气体有效覆盖加工区域且不破坏射流稳定性。宜为5L/min～

20L/min。

5.2.3具体成分

辅助气体应使用高纯度工业气体：

a)氮气：纯度不应小于99.99%，氧含量不应大于50ppm，水含量不应大于50mg/m³；

b)氧气：纯度不应小于99.5%，水含量不应大于100mg/m³；

c)特殊加工应使用超纯气体，纯度不应小于99.999%。

5.3水流后续处理

设备使用后的废水应经处理达标后排放，按GB8978及地方环保规定执行。

5.4安全性能

5.4.1激光安全

设备激光安全应符合GB/T10320的规定。

5.4.2防护装置

设备应配备激光保护窗或屏蔽装置，避免激光辐射对操作人员的伤害。

5.4.3电气安全

设备