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2025年半导体设备研发趋势：关键技术与路线解析.docx

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    2025年半导体设备研发趋势：关键技术与路线解析模板

    一、2025年半导体设备研发趋势：关键技术与路线解析

    1.1技术创新是推动半导体设备研发的核心动力

    1.1.1先进封装技术

    1.1.2光刻技术

    1.1.3半导体材料

    1.2研发路线解析

    1.2.1加强基础研究

    1.2.2产学研合作

    1.2.3产业链协同

    1.2.4政策支持

    1.2.5人才培养

    二、先进封装技术：半导体设备研发的突破口

    2.1三维封装技术

    2.1.1技术突破

    2.1.2设备研发

    2.1.3材料要求

    2.2硅通孔（TSV）技术

    2.2.1芯片内部连接

    2.2.2设备要求

    2.2.3材料创新

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