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富硅氮化硅薄膜光电性能的多维度探究与应用展望
一、引言
1.1研究背景与意义
在当今科技飞速发展的时代,微电子技术作为现代信息技术的核心,正以前所未有的速度推动着各个领域的创新与变革。从智能手机、平板电脑等日常电子设备,到超级计算机、人工智能服务器等高端科技产品,微电子技术的身影无处不在,其发展水平已然成为衡量一个国家科技实力和综合国力的重要标志。随着微电子技术的不断进步,对电子元器件的性能、尺寸和集成度提出了越来越高的要求,新型材料的研发与应用成为了推动这一领域持续发展的关键因素。富硅氮化硅薄膜作为一种具有独特物理性质和化学稳定性的新型材料,在电子元器件的制造和表面处理等领域展现出了巨大的
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