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TZOIA-硅微谐振压力传感器性能试验方法编制说明.pdf

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    《硅微谐振压力传感器性能试验方法》

    标准编制说明

    《硅微谐振压力传感器性能试验方法》标准起草组

    2024年7月8日

    1、标准范围。

    本标准规定了硅微谐振压力传感器性能的试验条件、试验的一般规定、试验

    项目及试验方法、数据计算及处理。

    2、工作简况。

    2024年6月，中关村光电产业协会发布关于《硅微谐振压力传感器性能试

    验方法》的团体标准立项审查通知。课题组启动了硅微谐振压力传感器性能试验

    方法编制的相关准备工作，对国内外压力传感器性

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