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脉冲调制射频感性耦合Ar和Ar-CF4等离子体“过冲”现象的实验研究

脉冲调制射频感性耦合Ar和Ar-CF4等离子体“过冲”现象的实验研究一、引言

近年来，脉冲调制射频感性耦合等离子体技术在材料处理、薄膜沉积、刻蚀等领域得到了广泛的应用。在等离子体处理过程中，Ar和Ar/CF4混合气体常被用作工作气体，其产生的等离子体具有优异的物理和化学性质。然而，在等离子体产生的过程中，有时会出现“过冲”现象，这可能对处理效果产生负面影响。本文将对脉冲调制射频感性耦合Ar和Ar/CF4等离子体“过冲”现象进行实验研究，分析其产生的原因和影响，为实际生产和应用提供理论支持。

二、实验装置与材料

实验装置主要包