基于亚像素检测算法的硅片栅线检测系统：精度提升与应用探索.docx

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2025-06-30 发布于上海
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基于亚像素检测算法的硅片栅线检测系统：精度提升与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

1.1.1硅片栅线检测在半导体产业中的重要性

在半导体产业的宏大版图中，硅片作为集成电路的关键载体，其制造过程涉及到多个复杂且精密的工艺环节，每一个环节都对最终产品的性能和质量有着深远的影响。其中，硅片栅线作为连接各个电子元件的桥梁，其质量的优劣直接决定了半导体器件的性能表现。如果将半导体器件比作一个高度精密的人体，那么硅片栅线就如同人体的神经系统，负责传递和处理各种关键信息。一旦硅片栅线出现诸如断路、短路、线宽不均匀等问题，就如同神经系统出现故障，会导致整个半导体器件无法正常工作，进而影响到整个电子