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硅基太赫兹波导定向耦合器：从设计理念到制备工艺的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

太赫兹波通常是指频率范围在0.1THz至10THz之间的电磁波，其波长范围介于毫米波与红外线之间，处于宏观电子学向微观光子学的过渡阶段。太赫兹技术作为一个新兴的研究领域，近年来受到了广泛的关注。这主要得益于太赫兹波所具有的一系列独特性质，使其在众多领域展现出了巨大的应用潜力。

从特性上看，太赫兹波具有高穿透性，能够穿透许多非极性物质，如塑料、陶瓷、布料等。这一特性使得它在无损检测领域具有重要应用价值，比如在工业生产中，可利用太赫兹技术对产品进行快速、非接触式的内部缺陷检测，及时发现肉眼难以察