高空湿度探测用加热式湿度传感器的研制.docxVIP

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高空湿度探测用加热式湿度传感器的研制.docx

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第29卷第7期

第29卷第7期2016年7月

Vol.29No.7July2016

CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS

ResearchandFabricationoftheHeaterIntegratedHumidity

SensorfortheRadiosondeHumiditySounding*

DONGPeng*，BIANXiuming，ZHAOHongzhong，LINShuchao，

DENGJuan，HUNGXiaojie，PENGWenwu（BeijingAerospaceMicro-ElectronicsTechnologyCo.，Ltd.，Beijing100854，China）

Abstract：Inordertorealizetheaccuratehumiditymeasurementinthehighaltitudeenvironment，theheaterinte?gratedhumiditysensorisdevelopedandinvestigated.Thishumiditysensorisusedintheradiosondehumiditysoundingbytwoheating-typehumiditysensors’alternateheatingdehumidificationandhumiditymeasurement.Thispaperreportsthedesignandfabricationoftheon-chipheating-typecapacitivehumiditysensorbasedonmodifiedsynthesisofthepolyimidehumiditysensitivematerials.Thegroundexperimentalresultsindicatethatthesensitivityis0.2195pF/%RH，theresponsetimeislessthan1s，thehumidityhysteresisisabout4.8%RH，andthehumiditydriftinsixmonthsislessthan±0.3%RH.Byanalyzingtherecoveringtimeunderdifferenttemperature,theworkingmechanismoftwohumiditysensors’alternateheatingisformulated.Theformulatedheatingtimeandperiodare2sand120s，respectively.Itinvestigatesthegroundandsoundingperformanceofheating-typehumiditysensorbyus?ingthedataacquisitioncircuitandGPSradiosonde，andthehumiditysoundingresultiswellinlinewiththatofVAISALARS92.Inconclusion，theheating-typehumiditysensorhasgoodgroundperformance，achievesalternateheatingdehumidificationandhumiditymeasurement，andhasagoodpotentialinradiosondehumiditysounding.

Keywords：humiditysensor;radiosondehumiditysounding;heating-type;humiditysensitivecapacitorEEACC：7230doi：10.3969/j.issn.1004-1699.2016.07.009

高空湿度探测用加热式湿度传感器的研制*

董鹏*，边旭明，赵宏忠，林树超，邓娟，黄晓杰，彭文武

（北京航天微电科技有限公司，北京100854）

摘要：为实现高空高湿环境下对湿度的