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2008年2009年
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1精密定位51速度传递
2直线电机22运动控制
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4定位精度24误差建模
5预加载15评价指标
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21背片技术121动态性能
22线结构光视觉传感器122grace
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26磁悬浮平台1
27磁悬浮1
28磁定位1
29直线电动机
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