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- 2024-10-23 发布于四川
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- | 2024-09-29 颁布
- | 2025-04-01 实施
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ICS25.100.70
CCSJ43
中华人民共和国国家标准
/—
GBT446872024
超硬磨料制品
半导体晶圆精密磨削用砂轮
—
SuerabrasiveroductsPrecisionrindinwheelsforsemiconductorwafers
ppgg
2024-09-29发布2025-04-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT446872024
目次
前言…………………………Ⅲ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4产品分类…………………1
(“”)………
4.1晶圆边缘倒角精密磨削用砂轮以下简称为倒角砂轮1
(“”)………
4.2晶圆端面减薄精密磨削用砂轮以下简称为减薄砂轮3
5产品标记…………………12
5.1倒角砂轮……………12
5.2减薄砂轮……………12
6技术要求…………………12
6.1外观…………………12
6.2基本尺寸极限偏差…………………13
6.3几何公差……………15
6.4基体粗糙度…………………………15
6.5动平衡………………15
6.6回转强度……………15
7试验方法…………………15
7.1外观…………………15
7.2基本尺寸……………16
7.3几何
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