GB/T 44687-2024超硬磨料制品 半导体晶圆精密磨削用砂轮.pdf

  • 2
  • 0
  • 约3.7万字
  • 约 28页
  • 2024-10-23 发布于四川
  • 正版发售
  • 现行
  • 正在执行有效期
  •   |  2024-09-29 颁布
  •   |  2025-04-01 实施

GB/T 44687-2024超硬磨料制品 半导体晶圆精密磨削用砂轮.pdf

  1. 1、本网站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等,侵权必究。
  2. 2、本网站所提供的标准均为PDF格式电子版文本(可阅读打印),因数字商品的特殊性,一经售出,不提供退换货服务。
  3. 3、标准文档要求电子版与印刷版保持一致,所以下载的文档中可能包含空白页,非文档质量问题
查看更多

ICS25.100.70

CCSJ43

中华人民共和国国家标准

/—

GBT446872024

超硬磨料制品

半导体晶圆精密磨削用砂轮

SuerabrasiveroductsPrecisionrindinwheelsforsemiconductorwafers

ppgg

2024-09-29发布2025-04-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT446872024

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4产品分类…………………1

(“”)………

4.1晶圆边缘倒角精密磨削用砂轮以下简称为倒角砂轮1

(“”)………

4.2晶圆端面减薄精密磨削用砂轮以下简称为减薄砂轮3

5产品标记…………………12

5.1倒角砂轮……………12

5.2减薄砂轮……………12

6技术要求…………………12

6.1外观…………………12

6.2基本尺寸极限偏差…………………13

6.3几何公差……………15

6.4基体粗糙度…………………………15

6.5动平衡………………15

6.6回转强度……………15

7试验方法…………………15

7.1外观…………………15

7.2基本尺寸……………16

7.3几何

您可能关注的文档

文档评论(0)

认证类型 官方认证
认证主体 北京标科网络科技有限公司
IP属地四川
统一社会信用代码/组织机构代码
91110106773390549L

1亿VIP精品文档

相关文档