《GBT 42271-2022半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法》必威体育精装版解读.pptx

《GB/T42271-2022半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法》必威体育精装版解读;目录;目录;目录;目录;目录;目录;PART;现有测试方法的不足;意义;PART;发布日期;影响半绝缘碳化硅单晶生产企业的产品测试方法和质量控制标准。;;PART;;测试过程中不与样品接触，避免了对样品的损伤和污染。;;PART;;电阻率测试方法;质量控制;PART;放电过程;;;PART;实时监测电量变化可以反映半绝缘碳化硅单晶的电学性能，包括电阻率、导电类型等。;;;PART;弛豫曲线是指在外加电场撤去后，半绝缘碳化硅单晶电阻率随时间变化的曲线。;电阻率计算;PART;该方法采用非接触式测试，避免了接触式测量可能带来的误差，提高了测试精度。;相比传统的接触式测试方法，非接触测试方法具有更快的测试速度，大大提高了测试效率。;PART;;测试原理;;PART;原材料检验;无损检测;PART;北京世纪金光半导体有限公司;来自株洲中车时代电气股份有限公司、中国科学院物理研究所等单位的专家团队，他们具有深厚的学术背景和丰富的实践经验。;PART;中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局;;PART;测试设备要求;;PART;;隔振措施;环境评估;PART;温度测量精度应达到±1℃。;测试环境的相对湿度应在45%-75%之间。;PART;;;光强对测试环境的干扰;应对措施及建议;PART;;遮光罩能有效隔绝外界光线和电磁干扰，提高测试的准确性。;PART;;;确保测试仪器和样品接地良好，以消除外部静电场对测试的干扰。;PART;应力屏蔽;金属材料;;PART;;;样品表面的油污、氧化层等因素会影响电阻率的测量准确性。;PART;厚度不均匀会导致电阻率分布不均;光学显微镜观测;;PART;;清洗过程;根据测试要求，选择合适的电极材料，如金属电极或碳质电极等。;预处理过程;PART;操作人员安全;防止机械损伤;;PART;完整性;;;PART;在相同条件下，对同一试样进行多次测试，结果之间的差异程度。;采用不同测试方法或设备对同一试样进行测试，比较测试结果之间的差异。;;温度控制;PART;无需接触样品;简化测试流程;非接触测试方法不受样品形状和尺寸的限制，可以测试各种形状和尺寸的碳化硅单晶。;;PART;;;非接触测试方法具有更高的测试效率，可以在更短的时间内完成更多的测试任务。;PART;提高测试效率;无需样品制备;PART;;;传感器领域;集成电路;PART;电阻率定义;;;PART;非接触测试;该方法为碳化硅材料的性能研究提供了新的手段，有助于深入了解其电学性能。;;PART;提高生产效率;;;半导体材料;PART;非接触测试技术应用;;采用更先进的测量技术和算法，提高了电阻率的测量精度。;;PART;非接触测试技术;自动化测试设备;;PART;新型设备在电阻率测量方面的精度得到了显著提升，误差范围更小。;;;PART;随着半绝缘碳化硅单晶的应用越来越广泛，对其电阻率的测试需求也日益迫切，因此需要制定国家标准。;审查与发布;提高测试准确性;PART;测试原理;国外测试方法;PART;;;;PART;标准化测试步骤;通用语言;;PART;学习半绝缘碳化硅单晶材料的基础知识，包括其物理性质、电学性质等。;资质要求;PART;电阻率值分析;;PART;数据备份与恢复;对测试数据进行分类管理，建立清晰的标识体系，便于数据的检索和使用。;;PART;;设备精度和准确度是保证测试结果的关键，需定期校准。;;;PART;确保测试设备精度和准确性，避免设备误差导致测试结果不准确。;;数据筛选与剔除;PART;由于测试设备的限制，样品尺寸必须符合特定要求，导致部分大尺寸样品无法进行测试。;;温度控制;PART;自动化测试可大幅提高测试效率，减少人为干预，保证测试结果的稳定性。;;纳米级测量;PART;市场规模;;国家出台了一系列政策支持碳化硅等第三代半导体产业发展，为碳化硅单晶行业提供了良好的政策环境。;PART;;自动化测试;多元化测试需求;PART;;行业标准;;PART;;光电子器件;推动碳化硅晶体生长技术的不断进步，提高晶体生长效率和晶体质量。;THANKS