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背沟道钝化对溶液处理透明氧化物环形振荡器工作稳定性影响讲稿.pdfVIP

背沟道钝化对溶液处理透明氧化物环形振荡器工作稳定性影响讲稿.pdf

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    P-19/Y.-H.Kim

    P-19:EffectofBackChannelPassivationontheOperationStability

    ofSolution-processedTransparentOxideTFTsandRingOscillators

    Yong-HoonKim,MinSukOh

    FlexibleDisplayResearchCenter,KoreaElectronicsTechnologyInstitute,Seongnam,Korea

    KwangHoKim,HyunJaeKim

    SchoolofElectricalandElectronicEngineering,YonseiUniversity,Seoul,Korea

    Jeong-InHan

    DepartmentofChemicalandBiochemicalEngineering,DonggukUniversity-Seoul,Seoul,Korea

    SungKyuPark

    DepartmentofOrganicMaterialsandFiberEngineering,ChonbukNationalUniversity,Jeonju,Korea

    Forgateelectrode,120nmthickchromium(Cr)wasdepositedby

    Inthispaper,theeffectsofbackchannelpassivationonthesputteringandpatternedbywetetching.Silicondioxide(SiO2)

    electricalstabilityofsolution-processedzinc-tin-oxidethin-filmwasdepositedbyplasma-enhancedchemicalvapordepositionat

    transistors(ZTOTFTs)andringoscillatorshavebeen350oCtoformgatedielectricwithathicknessof200nm.Onthe

    investigated.Basedonsolution-processedZTOTFTs,ringgatedielectric,theZTOsolutionwasspin-coatedandthermally

    oscillatorswithanoscillationfrequencyupto769kHzwereannealedintwosteps.Firstly,thecoatedfilmwasannealedat

    realizedanditwasfoundtha

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