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质量管理部
台阶仪操作规范
编制：
审核：
批准：
发布日期：实施日期：
XS/WI-ZJ022(005)台阶仪操作规范A/0
1目的
1.1为正确操作使用台阶仪。
2适用范围
2.1适用于公司质量管理部人员。
3职责
3.1所有使用人员须严格遵守该操作规范；使用过程中如出现异常情况，则使
用人员必须停止使用并马上通知理化室相关人员。
4工作内容
4.1开机流程
4.1.1检查线路是否连接正确，确认无接口松动。
4.1.2打开电脑主机。
4.1.3打开仪器电源盒(黑色盒子)，释放EPO红色按钮（箭头方向），
按下白色开机键，打开仪器。
4.1.4打开Vision软件，进入测试界面。
4.2关机流程
4.2.1关闭Vision软件。
4.2.2按下EPO黑色关机按钮，再按下红色按钮（emergencyoff
键）。关闭仪器电源盒。
4.2.3关闭电脑主机。
注：以上流程必须严格按规定进行，否则仪器会因为不能初始化而造成测量数据
不准确现象和损坏仪器的风险！
4.3测量流程要点
4.3.1放置样品时必须点击，放置好样品，点击载入样品，然后
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XS/WI-ZJ022(005)台阶仪操作规范A/0
点击，保证探针能落到样品表面，如果测量点与探针在样品的位置有差
异，点击，微调样品的位置，点击，待探针落到测量的位置，点
击开始测量分析，
4.3.2单次测量界面设置
打开操作界面，在下面栏中设置参数。
通常需要设置的有Length（扫描长度），Duration（扫描时间），扫描速度在20~50
μm/s之间（由扫描长度除以扫描时间得到）比较合适，如果样品粗糙，保持20
μm/s左右，这样可以避免碰坏探针。最后点击开始测量。StylusType
（探针曲率半径）改成2μm
测量结果分析如图：
先进行水平调节，点击lever-two选项，再在右边点击右键，选择AddASH，得到
台阶高度（膜厚）
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4.3.3多次测量设置
(1)首先重复单次测量过程，建立模板高级选项.
a点击在桌面上建立一个文件夹，打开后输入文件名，
b点击进入设置界面，点击AdvancedOptions选项得到如下界
面。
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c在Measurements位置处输入需要测量的次数，在StartingMeasurement
Number位置处输入起始编号一般输入2合适，点击Browse，找到建立的文件夹
打开，输入之前的文件名
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