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提供了一种衬底处理装置，包括：处理容器，具有处理空间；衬底支撑件，被配置为支撑衬底；流体供应器，被配置为将处于超临界状态的处理流体供应给处理空间；喷头组件，被配置为扩散处理流体；第一激光部，被配置为测量处理容器和喷头组件之间的水平对齐；第二激光部，被配置为测量处理容器和喷头组件之间的竖直对齐；以及控制器，被配置为基于所测量的水平对齐和竖直对齐来校正衬底、喷头组件和处理容器之一的位置，其中，第一激光部和第二激光部被配置为在处理容器内定位，并且在衬底上方移动。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118099023A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202311540119.3
(22)申请日2023.11.17
(30)优先权数据
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