SJ 21256-2018 溅射镀膜设备工艺验证方法.pdf

中华人民共和国电子行业标准

FL6190SJ21256-2018

溅射镀膜设备工艺验证方法

Technologicalverificationproceduresforfilmsputteringequipment

2018-01-18发布2018-05一01实施

国家国防科技工业局发布

SJ21256-2018

目lj~

I

SJ21256-2018

溅射镀膜设备工艺验证方法

1范围

本标准规定了溅射镀膜设备工艺验证的一般要求、验证条件和验证方法等内容。

本标准适用于离子束溅射及磁控溅射镀膜设备（以下简称镀膜设备〉工艺性能的验证。

3

3.1

膜

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沉膜j!

单位时

4一般要求、

4.1验证试验前受试w«~也Z

应通过以下措施保证骚咂唔庭调规慰喔句’监

a)送验方应提前川句承试方提变？ι买主:ijin~吠赞醺设备随机文件，包括镀膜设备详细规范、合格

证、安装及使用说明书、维修手册、其他有特殊性能要求的质量证明：

b)受试镀膜设备主要技术性能应达到产品规范所规定的要求：

c)承试方对受试镀膜设备进行相应的调整和校准：

d)承试方检资并记录受试镀膜设备的有关技术参数和工作状态，记录格式参见附录A中的表A.l。

4.2验证试验过程中受试镀膜设备状态控制

应通过以下措施保证试验过程中受试镀膜设备的技术状态：

a)受试镀膜设备移交后，由承试方负责组织实施镀膜设备的验证试验工作；

b)未经承试方同意，任何人不得随意更改、调整受试镀膜设备的工作状态：

c)试验期间受试镀膜设备的使用和维护保养，应按送验方提供的镀膜设备使用说明书中的有关规

定执行；

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d)试验期间受试镀膜设备所发生的故障及其检查排除情况应予以记录，记录格式参见附录A中的

表A.2;

e)试验期间受试镀膜设备零件、部件、整件损坏或失效，应经承试方同意后方可更换，更换后应

对镀膜设备有关技术参数重新测试。

4.3验证试验后受试镀膜设备状态控制

应通过以下措施保证试验后受试镀膜设备的技术状态：

a)检查并记录受试镀膜设备的有关技术参数和工作状态：

b)试验结束后承试方应及时向送验方提交试验结论。

4.4测试仪器和设备

测试仪器和设备应在检定／校准合格有效期内。若无特殊规定，其测试仪器和设备的准确度应高于

受试镀膜设备参数允许准确度一个数量级。

4.5操作人员

受试镀膜设备操作人员应经专业培训，具有正确操作镀膜设备的特定技能，并在验证过程中采用正

确的验证操作方法。

4.6中断与恢复试验

4.6.1中断试验

当发生下列情况之一时，应中断试验：

a)试验中任一工艺指标或产品指标达不到要求，在试验场地难以查出原因，无法采取纠正措施：

b)试验条件、受试镀膜设备在试验场地出现问题（异常〉，影响试验继续进行。

4.6.2恢复试验

当引起中断试验的原因确已查明，并具备重新试验条件时，应由送验方与承试方共同商议后重新开

始试验。

5详细要求

5.1验证试验条件

5.1.1试验环境

镀膜设备试验环境应满足下列要求