SJ 21259-2018 抛光设备工艺验证方法.pdf

中华人民共和国电子行业标准

FL6190SJ21259-2018

抛光设备工艺验证方法

Technologicalverificationproceduresforpolishingequipment

2018一01-18发布2018-05-01实施

国家国防科技工业局发布

SJ21259-2018

刚昌

I

SJ21259-2018

抛光设备工艺验证方法

1范围

本标准规定了抛光设备工艺验证的一般要求、验证条件和验证方法等内容。

本标准适用于机械抛光、化学抛光、化学机械抛光等平面抛光设备工艺性能的验证。

2规范性引用文件

、＿.＿.，~的引用文件，其随后所有的

修改单（不包含＼，、

标准达成协议的各方研究

是否可使用i立在坚

‘于本标准。

表面粗糙度sur

l郭算术平均偏差Ra（即：在取样长度L

加工表面具有的较小湖嗖

、士’所冒~）来表示。

内，被测轮廓上各点至轮廓中线E

4一般要求

4.1验证试验前受试抛光设备状态控制

应通过以下措施保证验证前受试抛光设备的技术状态：

a)送验方应提前向承试方提交产品规范和受试抛光设备随机文件，包括设备详细规范、合格证、

设备安装及使用说明书、设备维修手册、其他有特殊性能要求的质量证明：

b)受试抛光设备主要技术性能应达到产品规范所规定的要求：

c)承试方对受试抛光设备进行相应的调整和校准；

d)承试方检查并记录受试抛光设备的有关技术参数和工作状态，记录格式参见附录A中的表A.1。

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4.2验证试验过程中受试抛光设备状态控制

应通过以下措施保证试验过程中受试抛光设备的技术状态：

a)受试设备移交后，由承试方负责组织实施抛光设备的验证试验工作；

b)未经承试方同意，任何人不得随意更改、调整受试抛光设备的工作状态；

c)试验期间受试抛光设备的使用、维护和保养，应按送验方提供的抛光设备使用说明书中的有关

规定执行：

d)试验期间受试抛光设备所发生的故障及其检查排除情况应予以记录，记录格式参见附录表A中

的表A.2;

e)试验期间受试抛光设备零件、部件、整件损坏或失效，应经承试方同意后方可更换，更换后应

对抛光设备有关技术参数重新测试。

4.3验证试验后受试抛光设备状态控制

应通过以下措施保证试验后受试抛光设备的技术状态：

a)检查并记录受试抛光设备的有关技术参数和工作状态；

b)试验结束后承试方应及时向送验方提交试验结论。

4.4测试仪器和设备

测试仪器和设备应在检定／校准合格有效期内。若无特殊