SJ 21257-2018 离子束溅射镀膜设备通用规范.pdf

中华人民共和国电子行业标准

FL6190SJ21257-2018

离子束溅射镀膜设备通用规范

Generalspecificationforionbeamfilmsputteringequipment

2018-01一18发布2018-05-01实施

国家国防科技工业局发布

SJ21257-2018

刚昌

本规范由中国电子科技集团公司提出。

本规范由工业和信息化部电子第四研究院归口。

本规范起草单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所。

本规范主要起草人：胡凡、陈特超--tl」且3龙长林。

I

SJ21257-2018

离子束溅射镀膜设备通用规范

1范围

本规范规定了离子束溅射镀膜设备的通用要求、质量保证规定、交货准备。

本规范适用于离子束溅射镀膜设备（以下简称设备〉的设计、生产、检验和验收。

2规范性引用文件

下列文件中咚护

修改单（不包含F、

是否可使用注配

颜色|含义

红紧急

故障状况立即对危阶状态进行处理

黄

异常异常监视／干预

绿

正常状况正常操作

正常

注：表中颜色、含义、说明及操作人员的操作符合GB/T4025-2010的规定。

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表2设备按钮的颜色及其含义

颜色含义说明

应用示例

红紧急危险或应急情况下的动作

紧急停止

对抑制异常状况米取行动

黄异常异常情况下的动作

重新启动己中断了的臼动循环

绿

安全

为安全或为正常状况作准备的动作

蓝指令性需要采取动作的状况复位功能

注：表中颜色、含义、说明及应用示例符合GB／τ4025一2010的规定。

3.2.2导线颜色

设备动力线导线颜色、设备电气装配内部导线颜色及其含义宜分别采用表3和表4规定的颜色。

表3动力线导线颜色及其含义

导线颜色

含义

黄色

交流兰相电路的A相

绿色

交流三相电路的B相

红色