一种磁随机存储器及其制备方法.pdfVIP

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2024-04-10 发布于四川
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一种磁随机存储器及其制备方法.pdf

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本申请涉及磁性存储领域，公开了一种磁随机存储器及其制备方法，方法包括在衬底上生长亚铁绝缘磁层；在亚铁绝缘磁层上生长自旋轨道矩层；在自旋轨道矩层上制作磁性隧道结；磁性隧道结在水平面的投影尺寸小于自旋轨道矩层的投影尺寸；在磁性隧道结上生长第一电极，并在自旋轨道矩层上生长第二电极，得到器件结构体；在磁场作用下，对器件结构体进行热退火处理，得到磁随机存储器。本申请通过亚铁绝缘磁层提供等效外场，无需施加外磁场辅助，且相较于自旋轨道矩层下方有其他金属层的方案，可以避免其他金属层对自旋轨道矩层的分流效应，减小

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117858514A

(43)申请公布日2024.04.09

(21)申请号202410033353.5

(22)申请日2024.01.08

(71)申请人山东云海国创云计算装备产业创新