P8探针台操作流程.pptxVIP

P8探针台操作流程P8探针台操作流程确保电源接好后，将机台背后电闸打开，等待几秒，探针台正面电源指示灯亮起后（绿色），按下开机按钮（ON），如图4.1所示,P8探针台操作流程机台会随着几声滴滴声后屏幕逐渐亮起，等待机台加载系统，如图4.2所示。P8探针台操作流程加载完成后弹出Initialize画面点击Initialize按钮，如图4.3所示P8探针台操作流程等待探针台对每个零部件进行自检回零点作业后，弹出主页面，如图4.4所示。点击RUN按钮进行操作作业。图4.4TELP8探针台主界面P8探针台操作流程点击RUN运行按钮后跳转到产品信息录入选项，如图4.5所示，在左侧选项栏中选择待测产品Device（流程名）后，在右侧点击SetLot按钮，进入如图4.6所示SetLot选项界面。P8探针台操作流程进入如图4.6所示SetLot选项界面，在Cassete1LotName位置输入批号名，在SetLot选项中右侧选择适当的测试模式后，如图4.7所示P8探针台操作流程如图4.7所示，DesigBINData设置方法为：bin0~bin9用数字表示，Bin10之后用字母表示，需要跟“BINGroupSetting”里面的设置一一对应，将待测BIN项输入带对应位置即可。P8探针台操作流程AdditionalTests设置方法为：机台上晶舟盒里晶圆大于等于两片时即可操作，操作如图4.8所示，设置完成点击OK进行参数保存。图4.8TELP8AdditionalTests设置界面P8探针台操作流程输入确认后，点击OK弹窗IsitOKtochangethesettingvalue?点击YES回到RUN界面，此界面也可点击RestartLot选择指定片号进入，参数选择完毕后，点击Start进行进片作业。载片台摄像头会自动升起寻找探针卡针尖，找不到针尖会自动报错，此时看好探针卡方向，取下探针卡保护盖板，将探针卡装上探针台，如图4.9所示，P8探针台操作流程将绿色光标移到第一根针的针尖处，并按“OK”，如图4.10所示，探针台自动找到针尖后，会自动移动到第二根针的针尖处，重复第一根针的步骤直到完成自动对针动作。完成对针后，晶圆经过机械手臂自动送到载片台台上，并做晶圆扫描动作。P8探针台操作流程做完扫描动作后，探针台会出现“StoppedatRefereDie”按“OK”，上片完成，如图4.11所示。点击“ContactCheck”进入查看针痕界面，查看针压点击CheckRegisteredPad后再点击CheckRegisteredPads，如图4.12所示。P8探针台操作流程P8探针台操作流程晶圆进入机台后，要先进行试扎针作业，确保扎针高度在适当的范围内，作业方法为：在图4.13页面点击针压高度调整按钮Change，将扎针高度调整为0，点击试扎针按钮ZSW，此时扎针状态显示为Contact，再次点击ZSW按钮，此时针抬起，显示Separate。点击“CheckRegisteredPad”，在跳出的对话框中点击“CheckRegisteredPads”，进入查看针迹画面，如图4.14所示。P8探针台操作流程绿色光标停在第一根针对应的Pad上，观察是否有针迹，点击“NextPad”；将移动模式改成“Scan”，用方向移动按钮，移动位置，查看每个Pad是否有针痕，查看结束后按“OK”返回上一界面；如果没有针剂逐步增加10um进行试验，直到针剂合适为止，如遇针剂偏移情况，点击图4.13中的CameraMenu按钮调整针压按钮进行针压的调整。图4.14查看针迹界面P8探针台操作流程点击图4.15中的ContactPositionOffset，在弹窗里点击ContactXYOffset。图4.15扎针位置调整界面带子网划分的编址172.16.3.0172.16.4.0172.16.1.0172.16.2.0Network172.16.0.0子网划分(没有划分子网时）172.16.3.1172.16.2.200172.16.3.5E1172.16.2.2172.16.3.100172.16.2.160172.16.3.150NewRoutingTableNetworkInterface172.16.2.160172.16.0.0E1NetworkHost子网掩码子网掩码与IP地址一一对应，是32bit的二进制数子网掩码为连续的1和0子网掩码为1表示网络位，0表示主机位17216002552552550子网掩码NetworkHostIPAddressNetworkHostDefaultSubnetMas11111111111111110000