一种搬运装置及其使用方法.pdfVIP

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2024-03-23 发布于四川
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一种搬运装置及其使用方法.pdf

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本申请涉及半导体制造工艺设备技术领域，公开一种搬运装置，包括：第一操作模组，包括底座；第二操作模组，与所述第一操作模组可拆卸连接，包括支撑部、移动部和工装部，其中：所述支撑部通过移动部与所述底座可移动连接，以使所述移动部带动所述支撑部在所述底座上沿第一方向移动；所述工装部可移动安装于所述支撑部，用于将放置于工装部的零部件沿第二方向移动，且所述第一方向和第二方向不相同。该装置使得半导体设备的零部件在搬运的过程中可以在狭窄空间中进行多自由度的移动，并留出足够的操作空间。本申请还公开一种搬运装置的使用

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117735438A

(43)申请公布日2024.03.22

(21)申请号202311747533.1

(22)申请日2023.12.18

(71)申请人江苏微导纳米科技股份有限公司

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