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本发明提供了一种调谐质量阻尼器和晶圆检测设备，属于精密光机电系统的减振领域，调谐质量阻尼器包括底座、滑块、板簧、质量块和顶板盖；滑块的底部滑动的设置在底座上，滑块的顶部与板簧位置可调的连接；板簧的一端与质量块固定连接；检测设备采用了基于前述的调谐质量阻尼器，调谐质量阻尼器通过对板簧的有效工作长度的调节，使得阻尼器的固有频率与被控对象固有频率一致，以此减小被控对象的振幅。本申请的调谐质量阻尼器不仅能实现被控对象的能量转移要求，还能实现阻尼器固有频率的调节功能，拓宽有效减振频带；阻尼器结构简单，易加
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117703974A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311771576.3
(22)申请日2023.12.21
(71)申请人苏州矽行半导体技术有限公司
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