一种9N超纯低温氢气纯化装置及纯化方法.pdfVIP

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2024-03-16 发布于四川
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一种9N超纯低温氢气纯化装置及纯化方法.pdf

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本发明公开了一种9N超纯低温氢气纯化装置，包括一备一用两个低温吸附反应器、原料气输入管路、产品气输出管路、液氮输入管路、氮气吹扫管路、废气排出管路、相应的切换阀门和控制系统，产品气输出管路的旁路上连接有再生气输入管路，再生气输入管路和再生塔连通，再生气输入管路上设置有加热器；低温吸附反应器包括内筒、环绕在内筒周向的夹层、置于内筒内部的填料反应管、换热系统，夹层和液氮输入管路连通，填料反应管内部设置有吸附剂，吸附剂由活性炭、氧化铝和沸石混合而成；换热系统用于对原料气进行降温且对产品气进行升温。本发

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117695801A

(43)申请公布日2024.03.15

(21)申请号202311702160.6

(22)申请日2023.12.12

(71)申请人大连华邦化学有限公司

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