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二氧化钛薄膜的研究进展(2-24).docx

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    二氧化钛薄膜的争论进展

    引 言

    TiO2是一种性能稳定的半导体材料，具有氧化活性高，对人体无毒害、本钱低和无污染等特点，在很多领域有广泛的用途。TiO2薄膜具有良好的化学稳定性、电学性能、优良的光催化特性和亲水性，使其在污水处理、空气净化、电子材料、光学材料、生物材料和金属外表防护等方面呈现出巨大应用潜力。目前，TiO2薄膜的制备方法有很多，大体可以分为两大类：物理法和化学法。物理法主要是利用高温产生的物质蒸发或电子、离子、光子等高能粒子的能量所造成的靶物质溅射等方法，在衬底上形成所需要的薄膜；化学法是利用化学反响在基片上形成薄膜的方法。[1]

    制备方法

    1溶胶-凝胶法

    溶胶－凝

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