单晶炉热场及单晶炉及改善轻掺硼硅单晶OISF的方法.pdfVIP

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2024-02-28 发布于四川
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单晶炉热场及单晶炉及改善轻掺硼硅单晶OISF的方法.pdf

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一种单晶炉热场及单晶炉及改善轻掺硼硅单晶OISF的方法，属于单晶硅制造技术领域，所述单晶炉热场包括炉体、断热材、坩埚、底加热器、侧加热器、热屏，炉体内部设置有断热材，断热材内设置有坩埚，坩埚与断热材之间设置有侧加热器和底加热器，坩埚上方设置有热屏，侧加热器的上端延伸至与坩埚上端面齐平，断热材包括从上到下依次设置的上环、中环、下环，中环的厚度与下环的厚度一致，热屏为上下开口的筒状结构，用于引导氩气气流方向，所述热屏的内侧从上至下梯次排布有第一竖直面、内凹弧面、第二竖直面，以延长氩气流动的路径，使氩

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117604613A

(43)申请公布日2024.02.27

(21)申请号202311617055.2

(22)申请日2023.11.29

(71)申请人宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

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