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本发明提供卡盘工作台的制造方法，不分别单独地制造期望形状的多孔板，能够提高卡盘工作台的生产率。该卡盘工作台能够与至少两个面积或形状不同的被加工物对应地切换保持面的形状，其中，该卡盘工作台的制造方法包含如下的工序：多孔板粘接工序，以多孔板的上表面露出的状态使该多孔板收纳在框体的凹部中，并将该框体与该多孔板粘接；槽形成工序，在该多孔板中形成到达该凹部的底面的槽；以及树脂填充工序，使液态树脂填充于该槽并固化。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117584039A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202310973580.1
(22)申请日2023.08.03
(30)优先权数据
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