金属掩模版的材料属性等效方法、仿真方法及制作方法.pdfVIP

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2024-02-07 发布于四川
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金属掩模版的材料属性等效方法、仿真方法及制作方法.pdf

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本公开提供一种金属掩模版的材料属性等效方法、仿真方法及制作方法。其中的材料属性等效方法，包括基于金属掩模版具有孔的区域，建立金属掩模版的单元模型；设置单元模型的基础材料属性；获取单元模型在预设荷载作用下的第一形变量；建立与单元模型尺寸相同，并且不具有孔的实体模型；设置实体模型的初始材料属性；获取实体模型在预设荷载作用下的第二形变量，调节初始材料属性，以使第二形变量趋近或等同于第一形变量，根据调节后的初始材料属性获得等效材料属性等步骤。可以更好的模拟精密金属掩模版的形态，精度较现有技术更高。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117524380A

(43)申请公布日2024.02.06

(21)申请号202311602580.7

(22)申请日2023.11.28

(71)申请人江苏高光半导体材料有限公司

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