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在使用批次处理部以及叶片处理部的基板处理中有效率地进行基板处理整体。基板处理方法具备下述工序：根据待机片数计算基板结束叶片处理部中的基板处理为止所耗费的时间即所需时间，待机片数是在批次处理部中药液处理后、且在叶片处理部中进行干燥处理前的基板的片数；以及控制批次处理部中的药液处理的开始时刻，以使所需时间变得比批次处理部中的药液处理所耗费的时间短。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117321737A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202280036083.2(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限
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