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本申请公开一种多通道微型窄带红外辐射源,一种多通道微型窄带红外辐射源,包括:至少四个辐射元件;所述至少四个辐射元件通过电路相连,串行工作;其中,所述辐射元件包括:基底、加热电极层、绝缘层、超材料和背腔,所述超材料包括:金属反射层、介质层和图案层;所述至少四个辐射元件之间相同层的厚度一致;所述基底的一面设有背腔,所述加热电极层位于所述基底远离背腔的一面,所述绝缘层设置在所述加热电极层和所述金属反射层之间,所述介质层设置在所述金属反射层和所述图案层之间;所述基底包括本体和支撑部,所述支撑部位于所述本
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117269070A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202311047738.9C23C28/00(2006.01)
(22)申请日2023.08.
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