一种可用于FS飞秒激光下的大幅面扫描圆斑镜头.pdfVIP

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2023-12-02 发布于四川
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一种可用于FS飞秒激光下的大幅面扫描圆斑镜头.pdf

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本发明公开了一种可用于FS飞秒激光下的大幅面扫描圆斑镜头，包括沿光路传播方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜；第一透镜为正透镜，第二透镜为负透镜，第三透镜为正透镜，第四透镜为正透镜，第五透镜为正透镜；可用于FS飞秒激光下的大幅面扫描圆斑镜头的焦距为350～380mm。本发明可用于FS飞秒激光下的大幅面扫描圆斑镜头，解决了常规大幅面扫描镜头在飞秒激光下聚焦光斑变椭等问题，适用于大幅面激光裁切，具有光斑圆度好，热影响区域小等特性，可实现对OLED显示面板精密切割。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117139829 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202311188179.3 (22)申请日 2023.09.15 (71)申请人南京波长光电科技股份有限公司地址