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本发明是减少加工装置的占据面积的装置,包括:基板收容部111,收容密封完毕基板W;切断用工作台2A、切断用工作台2B,通过切断机构4加工密封完毕基板W;接收台115,自基板收容部111接收密封完毕基板W;台移动机构117,具有用以使接收台115移动至搬送位置的移动轨道117a;第一保持机构3,为了将密封完毕基板W搬送至切断用工作台2A、切断用工作台2B而保持;以及搬送用移动机构7,具有用以使第一保持机构3在位于搬送位置的接收台115与切断用工作台2A、切断用工作台2B之间移动的传递轴71,传递轴
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116868314 A (43)申请公布日 2023.10.10 (21)申请号 202180093604.3 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理
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