一种光斑分析系统.pdfVIP

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2023-10-04 发布于四川
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一种光斑分析系统.pdf

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本发明涉及光斑分析系统，其包括壳体和分析组件，壳体设置有开口，设置于壳体内，用于光斑分析，分析组件包括准直透镜和用于将激光分解成反射光束和透射光束的楔形棱镜，以及用于测量反射光束的测量相机和用于吸收透射光束的尾光吸收器，准直透镜设置于开口处，楔形棱镜设置于准直透镜和测量相机之间，其中一个分析组件设置有聚焦透镜，聚焦透镜设置于楔形棱镜和测量相机之间。本发明可应用于不同波长的大功率激光测量分析，同时实现成本的降低。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116839728 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310815095.1 (22)申请日 2023.07.05 (71)申请人珠海东辉半导体装备有限公司地址